公告公示

浙江晶睿电子科技有限公司晶圆片和外延片制造项目先行竣工环境保护验收公示

2022-08-08 17:01:55 zjqxhj 57

2022710日,建设单位浙江晶睿电子科技有限公司邀请相关单位人员及专家组成验收工作组,根据浙江齐鑫环境检测有限公司编制的《浙江晶睿电子科技有限公司晶圆片和外延片制造项目先行竣工环境保护验收监测报告QX()20220603,并对照《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》(国环规环评[2017]4号),严格依照国家有关法律法规、建设项目竣工环境保护验收技术指南、本项目环境影响报告书审批文件等要求对本项目环境保护设施进行验收,内容如下:

一、工程建设基本情况

(一)建设地点、规模、主要建设内容

   浙江晶睿电子科技有限公司成立于2020525日,企业看好外延片及抛光片的市场发展前景,通过公开竞价竞得丽水市莲都区南明山街道南明路771号地块,地块总占地面积100212m2,并在该地块新建厂房、仓库及附属设施,实施电子晶圆片和外延片制造项目。项目主要采用先进的生产技术和生产设备,建成年产996万片各种品类的抛光片、外延片的生产能力。

项目东侧为南明路,隔路为杰祥科技有限公司;南侧为七百秧街,隔路为丽水东华宏泰科技有限公司;西侧和北侧为在建空地。项目实际员工160人,实行二班制工作制度,年工作300天。

(二)建设过程及环保审批情况

该项目已在丽水经济开发区发展和改革局登记备案,根据项目备案通知书(项目代码2020-331151-39-03-172500),建设单位向环保部门办理环保相关许可手续。

建设单位于202112月委托丽水市环科环保咨询有限公司编制了《浙江晶睿电子科技有限公司晶圆片和外延片制造项目环境影响报告书》,并于20211229日取得丽水市生态环境局出具的《关于浙江晶睿电子科技有限公司晶圆片和外延片制造项目环境影响报告书的审批意见》(丽环建开[2021]39号)。

建设单位目前尚未纳入重点排污管理名录,排污许可证按照登记管理,文件号《91331100MA2E3ENF7P001Y》,登记日期为2022627日。企业已完成设备安装,调试。

(三)投资情况

项目实际总投资50000万元,其中环保投资1000万元,占比0.02%

(四)验收范围

次为浙江晶睿电子科技有限公司晶圆片和外延片制造项目先行验收验收范围为年产120万片外延片及其配套的环保设施

二、工程变动情况

根据现场踏勘情况和验收监测报告,项目的性质、地点、生产工艺、主要生产设备等与环评基本一致无重大变动。

三、环境保护设施建设情况

1.废水:项目排水严格按照“清污分流、雨污分流”原则实施。项目产生的废水主要有纯水制备浓缩水、纯水制备清洗废水、含氟废水、锅炉排污废水、喷淋塔废水、酸碱废水、生活污水。

1)纯水制备浓缩水

本项目RO水制备过程中会产生浓缩水。该股水为清下水,可纳入市政雨水管网。

2)纯水制备清洗废水

设备反冲洗和再生过程反清洗水,该股废水引入厂区污水站的后道沉淀系统处理处理达到《电子工业水污染排放标准》GB39731-2020)中表1间接排放限值纳工业区污水管网,进入水阁污水处理厂统一处理。

3)含氟废水

含氟废水主要来自氢氟酸清洗的后道清洗,该股废水引入厂区污水站处理达到《电子工业水污染排放标准》(GB39731-2020)中表1间接排放限值纳工业区污水管网,进入水阁污水处理厂统一处理。

4)锅炉排污废水

本项目蒸汽冷凝水可回用,但锅炉在运行过程中需定期排放部分污水,该股废水引入厂区污水站处理处理达到《电子工业水污染排放标准》(GB39731-2020)中表1间接排放限值纳工业区污水管网,进入水阁污水处理厂统一处理。

5)喷淋塔废水

项目有机废气均采用喷淋工艺进行废气处理,长时间使用后的喷淋废水引入厂区污水站处理处理达到《电子工业水污染排放标准》(GB39731-2020)中表1间接排放限值纳工业区污水管网,进入水阁污水处理厂统一处理。

6)酸碱废水

主要为酸性试剂使用的后道清洗,酸碱废水经pH调节+沉淀处理后回用于氢氟酸清洗工序不外排。

7)生活污水

生活废水主要来自员工生活,经厂区自建化粪池设施处理达《电子工业水污染排放标准》(GB39731-2020)中表1间接排放限值纳工业区污水管网,进入水阁污水处理厂统一处理。

2废气:现状项目营运过程中产生的废气主要是酸性废气、碱性废气、外延炉废气、锅炉燃烧烟气。

1)酸性废气

根据现场调查,项目生产工段均布置在密闭无尘间内,酸性废气包含HFHCl、硝酸,各工段废气经收集后通过支风管引至主风管,再通过主风管管道引至碱性废气洗涤塔(NaOH碱液喷淋)处理后通过15m高排气筒排放。

2)碱性废气

根据现场调查,项目生产工段均布置在密闭无尘间内,碱性废气为氨气,各工段废气经收集后通过支风管引至主风管,再通过主风管管道引至酸性废气洗涤塔(硫酸喷淋)处理后通过15m高排气筒排放。

3外延炉废气

项目现状共设置了31台外延炉,设置的外延炉均配套了相应的碱性废气洗涤设施处理(根据外延炉不同型号采用一对一或者一对多方式处理),最后由15m排气筒排放(合计41根)。

4)锅炉燃烧烟气

项目现状设置了一台6t/h的天然气锅炉,主要为纯水制备以及无尘室的温度调节提供热源,使用频率较少,产生的燃烧废气经15m排气筒排放。

3.噪声:项目噪声主要来自于生产过程中各类生产运行过程产生的机械噪声,企业采取的噪声防治措施主要有:

1)、选购高效、低噪设备,对噪声较大的设备安装减震垫,并加强设备日常检修和维护。设备合理布局。

2)、提倡文明生产,提高员工的环保意识,减少不必要的噪声污染。

3)、加强厂区四周的绿化、提高植被覆盖度等。

4废:项项目现状先行验收产生的固体废物主要有废酸液、废碱液、污泥(含一般污泥和生产废水污泥)、危废包装容器、职工生活垃圾、废渗透膜,处置措施如下:

1)废酸液

属于《国家危险废物名录》(2021版)判定的危险废物(398-007-34),密闭储存后暂存至危废仓库,定期委托有资质的单位处置。

2)废碱液

主要为废氨水,属于《国家危险废物名录》(2021版)判定的危险废物(900-352-35),密闭储存后暂存至危废仓库,定期委托有资质的单位处置。

3)污泥

①生化处理污泥和一般废水处理过程会产生污泥,该类污泥属于一般固废,收集后外运至污泥焚烧厂处理。

②生产废水处理污泥属于《国家危险废物名录》(2021版)判定的危险废物(900-047-49),收集后委托有资质单位处置。

4)危废包装容器

包含酸液的包装桶,属于《国家危险废物名录》(2021版)判定的危险废物(900-041-49),收集后委托有资质单位处置。

5)职工生活垃圾

主要是职工生活中产生的生活垃圾,收集后委托环卫部门清运。

6)废渗透膜

纯水制备的渗透膜需定期更换,收集后委托环卫部门清运。

四、环境保护设施调试效果及工程建设对环境的影响

根据建设项目竣工环境保护验收监测报告表,项目监测期间环境保护设施调试效果如下:

1、废水:项目厂区总排口废水中pH值范围、悬浮物、化学需氧量、五日生化需氧量、总磷、总氮、氟化物、石油类排放浓度均符合《电子工业水污染排放标准》(GB39731-2020)中表1间接排放限值,其中氨氮排放符合《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》(DB33/887-2013)中标准限值要求。

2、废气:有组织废气:项目外延炉排气筒群出口非甲烷总烃、氯化氢排放均符合《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)中二级标准及排放速率要求;

项目锅炉排气筒出口颗粒物、二氧化硫、烟气黑度均符合《锅炉大气污染物排放标准》(GB13271-2014)中新建燃气锅炉标准要求,其中氮氧化物符合《燃气锅炉低氮改造工作技术指南(试行)》中标准要求。(即<50mg/m3

项目酸性洗涤塔排气筒出口氯化氢、氟化物、氮氧化物均符合《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)中二级标准及排放速率要求。

无组织废气:厂界无组织颗粒物、非甲烷总烃、氯化氢、氟化物、氮氧化物、二氧化硫均符合《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)无组织标准要求;氨气、臭气浓度符合《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)厂界标准要求。

3、噪声:项目厂界西侧、北侧昼间噪声和夜间噪声均符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中3类标准要求,厂界东侧、厂界南侧符合4a类标准要求。

4、固废:项目一般固废处理处置符合《一般工业固体废物贮存和填埋污染物控制标准》(GB18599-2020)的要求。

项目危险废物处理处置符合《危险废物贮存污染控制标准(GB18597-2001)及修改单中相关规定。

5、总量控制

根据总量核算,本项目总量控制指标符合排污许可证总量控制要求,因此,本项目符合总量控制。

五、验收结论

    依据《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》(国环规环评[2017]4号),浙江晶睿电子科技有限公司晶圆片和外延片制造项目先行环保手续齐全。根据《浙江晶睿电子科技有限公司晶圆片和外延片制造项目先行竣工环境保护验收监测》等资料及环境保护设施现场检查情况,企业基本落实了环评文件的相关要求,并按要求公示验收情况。

   公示日期:2022年8月8日-9月8日

   联系人:吴留平

   联系电话:18001439198

   公示网站:http://www.zjuniontesting.com/default.aspx?pageid=65

浙江晶睿电子科技有限公司验收监测报告书.pdf


联系方式
0578-2303512             
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